涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
由于涡轮分子泵在某些方面,要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下,多选用涡轮分子泵。它的优点有:
(1)清洁,无油蒸汽返流(2)气体输送能力强(3)使用方便(4)循环的时间短(5)高压力下性能良好(6)适于超高真空应用(7)正常使用时间长
涡轮分子泵也有一些缺点
(1) 设备费用高 (2)有一定的噪音与振动(3) 对颗粒物或沉积物比较敏感 (4) 暴露大气易引起事故
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