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多组元硬质反应膜的研究

采用多弧离子镀技术,经过认为合适而使用Ti-Al 合金靶及Ti-Nb 靶的组合形式,在高速钢基体上制备了( TiAlNb) N 多组元硬质反响膜。利用电子扫描电镜、X 射线衍射仪对( TiAlNb) N 膜层外表、断面形貌、成分、相结构施行仔细查看标定; 系会考察了( TiAlNb)N 膜层的显微硬度、膜/基黏着力、磨擦磨耗及热震阻力等力学性能; 最后结果表明,小量添加Nb 的( TiAlNb) N 多组元硬质膜为面心立米结构,具备令人满意的硬度、依附强度、耐磨性和抗热震性。

  随着磨削加工制作业要求的不断增长,磨削刃具在高温抗氧气化性、耐磨性、硬度等方面的短欠普通经过刃具外表镀覆TiN 硬质膜、( Ti,Al) N、( Ti,Zr) N、( Ti,Nb) N、( Ti,Cr) N 等复合硬质膜而得以改善。

  为了进一步增长膜层的综合性能,硬质反响膜已经朝着多元膜、多层复合膜、成分梯度膜等更为复杂的膜层结构进展,譬如,( Ti,Al,Zr) N、( Cr,Ti,Al) N、( Ti,Al,Zr,Cr) N 复合膜在硬度、黏着力等性能方面达到比( Ti,Al) N、( Ti,Zr) N、( Ti,Cr) N 等更好的效果。Nb 是一种过渡族高熔点金属元素,在铬合金中作为β 牢稳元素得以应用。添加小量的Nb 具备增长氧气化阻力、增长抗蠕变强度、拉伸强度等效用; 另一方面,在TiN 膜层中添加Nb 组元而取得的TiNbN 膜层在抗磨擦磨耗性能方面有表面化的增长,膜层硬度及膜层黏着力也有一定改善。可以期望,在三组元氮化物中Nb 元素的添加应当也会起到一定的效用。作为一种有好处的试验,本研讨认为合适而使用多弧离子镀技术,并用认为合适而使用Ti-Al( 50 ∶ 50 ( 原子比) ) 合金靶及Ti-Nb ( 75 ∶ 25 ) 合金靶组合制备( TiAlNb) N 多组元硬质反响膜,以期改善力学性能并取得Nb 元素的添加对( TiAlNb) N 硬质反响膜团体和性能的影响效用规律。

(1) (TiAlNb) N 硬质膜具备细致精密的柱状晶团体,闪现面心立米结构,择优成长方向为(111) 晶面,偏流电压对膜层择优成长取向无影响; Al 和Nb 对(TiAlNb) N膜层的晶格常数起到双向调节效用。

  (2) (TiAlNb) N 硬质膜外表硬度达到HV3200以上,依附强度达到100 N 以上; 三组偏流电压下制备的(TiAlNb) N 硬质膜均具备令人满意的耐磨性,200 V 偏流电压的膜层耐磨性最佳。

  (3) (TiAlNb) N 硬质膜具备令人满意的抗热震性能, 650℃温度下的抗热震循环回数达到9-10 次。

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