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碳纳米管阴极电离规的研究

碳纳米管作为现实的电子发射极被宽泛使用正在x 射线管、真空微波管、呆滞显现器、电子风镜和真空水解规等多种电子机件中。白文力点回忆了近年来碳纳米管负极水解规的钻研停顿,评述了这种新式负极水解规的长处和具有的成绩,并对于其停滞前途作了综合和瞻望。

  水解规是一种丈量高压力的真空传感机件,它是经过丈量水解电子碰撞气体成员发生的阳离子直流电来直接失去气体压力。水解规是丈量极高压力最锐敏的机件,也是丈量超高/ 极高真空独一实践可用的真空机件。依据水解电子的发生形式,水解规分成热负极水解规和冷负极水解规。纵观水解规降生迄今近世纪的历史发觉,它的停滞和真空压力的丈量,特别是极高压力的丈量密没有可分。至今为止,生意化的热负极水解规的丈量上限为10-11 Pa,而冷负极水解规的丈量上限仅为10-9 Pa。虽然水解规正在泛滥畛域存正在宽泛的使用,但是它们本身具有一系列制约要素,极大的制约了规管丈量上限的蔓延和测试后果的牢靠性。相似,对于热负极水解规而言,热真丝发射的电子打到规管电极时会招致x 射线效应和电子鼓励脱附效应的发生,它们最终会经过没有同的方式正在离子搜集极上发生一度与本底压力有关的直流电信号,极大的制约了水解规的丈量上限;负极的热辐照会毁坏测试条件的热动失调,以致成员密度和睦压间的反比联系没有再严厉成立;负极的热辐照会诱发吸附正在腔室内壁上的气体解吸,形成腔室气压的变迁;负极资料的热沸腾会惹起测试条件气压和化学因素的变迁。冷负极水解规固然没有具有负极发烧给极高真空丈量带来的制约要素,但是保守冷负极水解规存正在非线性、没有稳固性、抽速大、高压力下具有尖端放电提早效应、正在较宽压力范畴内直流电与压力出现非线性等有余之处。近年来,钻研人员正正在寻觅新式的冷电子源来代替保守的热负极,以此来克制水解规中热负极发生的有利要素,完成极高真空的准确丈量。

  碳纳米管因为存正在较小的曲率半径,较大的长径比,优良的异质性,优异的力学功能和化学稳固性等长处使其变化现实的场致发射负极资料,并已被宽泛使用于x 射线管、真空微波管、微波缩小器、呆滞显现器和电子风镜等多种电子机件中。除此之外,碳纳米管负极正在水解规中的使用也失掉了泛滥钻研者的关心,这是由于这种新式负极存正在许多保守负极无奈企及的长处。

  相似,正在碳纳米管负极中,电子是正在附加磁场作用下发生的,这就消弭了热负极发烧招致热动失调的毁坏,负极资料的沸腾等有利要素;极快的呼应工夫使场致发射负极能够正在脉冲电压形式下班作,这就减小了场致发射负极蒙受离子轰击的多少率,从而能明显增加它的运用寿数。场致发射负极稳固性正在真空度越高的环境下越好,它的使用能够防止保守冷负极水解规正在极高真空下没有易尖端放电的缺欠。因而,场致发射负极正在水解规中的使用被以为是为处理极高真空丈量而迈出的要害一步。白文将力点回忆碳纳米管负极正在多少种罕见水解规中的使用停顿,评述了这种新式负极水解规的长处和具有成绩,并对于其进一步停滞前途作了瞻望。

碳纳米管阴极电离规具有功耗小,响应快,出气少,不存在光辐射和热辐射等优点,使其有望解决传统电离规自身存在的一系列问题而实现极高真空的测量。因此,近年来碳纳米管阴极电离规的研究吸引了众多研究者的关注,并取得了一些有意义的研究成果。然而,综观近年的相关研究报道,我们发现碳纳米管阴极电离规仍然存在如下问题:

  第一,碳纳米管阴极电离规灵敏度较低,已报道的碳纳米管阴极电离规没有一款灵敏度大于相应的热阴极电离规,这是限制延伸碳纳米管阴极电离规测量下限的重要原因之一;

  第二,碳纳米管阴极发射电流偏小,已报道的碳纳米管阴极电离规的发射电流往往只有几十μA的量级,远小于相应的热阴极电离规灯丝mA 量级的发射电流,从而限制了该种电离规测量下限的拓展;

  第三,碳纳米管阴极在超高真空中具有良好的场发射特性,而在低真空它的发射稳定性很差,这就限制了它的应用范围;

  第四,有关碳纳米管阴极电离规的理论研究较少,致使人们对这种新型阴极电离规中的物理过程缺乏认识。

  鉴于上述分析,未来在碳纳米管阴极电离规的研究中,应该从如下几点入手:

  第一,改进碳纳米管制备技术,大幅提高碳纳米管阴极发射稳定性和电流密度;

  第二,优化电离规管结构参数和电学参数,解决碳纳米管电离规灵敏度低的问题;

  第三,深入对碳纳米管阴极电离规的理论研究,深化对其中物理现象产生机理的认识,这是解决限制碳纳米管阴极电离规延伸测量下限的前提条件。

 

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